一、微電子廠房特點隨著科技技術(shù)的發(fā)展，電子產(chǎn)品生產(chǎn)日新月異，以微電子產(chǎn)品為代表的各種電子產(chǎn)品生產(chǎn)技術(shù)發(fā)展迅速?，F(xiàn)代電子產(chǎn)品要求微型化、精密化高純度、高質(zhì)量和高可靠性，以人們熟悉的手機、筆記本電腦為例，它所使用的集成電路電子元器件以及其組裝的生產(chǎn)過程都要求在受控環(huán)境條件下進行操作。根據(jù)生產(chǎn)要求對室內(nèi)空氣的潔凈度、溫度、相對濕度以及壓力、噪聲、振動、靜電等參數(shù)進行控制的生產(chǎn)廠房。微電子廠房與其他工業(yè)廠房相比，空氣潔凈度等級高氣流方式大部分為單向流、送風量大、室內(nèi)溫濕度要求高、噪聲振動要求高、大開間的開放式生產(chǎn)布置。二、微電子廠房凈化空調(diào)系統(tǒng)目前微電子廠房的送風方式主要有集中送風、隧道送風和風機過濾機組三種形式。(1)集中送風系統(tǒng)。室外新風經(jīng)新風空調(diào)機組( MAU)處理裝置后，送至下技術(shù)夾層，室內(nèi)送風經(jīng)過高架地板至下技術(shù)夾層，新風和回風在下技術(shù)夾層混合后經(jīng)表冷器(DCC干盤管)降溫，再經(jīng)軸流風機增壓后的至送風靜壓箱內(nèi)，再通過高效過濾器送至潔凈生產(chǎn)層。集中送風特點：單向流氣流方式的平均風速為0.2~0.4m/s，換算成換氣次數(shù)可達到250~600次換氣次數(shù)，整個環(huán)境送風量大，軸流風機將混合后的新風和回風通過風管送至送風靜壓箱內(nèi)，則需要的軸流風機風量大、數(shù)量多。軸流風機布置在回風墻內(nèi)不易安裝檢修。通過風管輸送流速高，所占用的回風墻面積小。(2)隧道送風。潔凈區(qū)的回風經(jīng)回風墻與新風處理后的新風...
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一、凈化空調(diào)設(shè)備安裝施工質(zhì)量驗收的通用要求。1齊全的隨機文件，既代表了產(chǎn)品的內(nèi)涵質(zhì)量，又是安裝、運行的依據(jù)，相關(guān)各方均應(yīng)十分重視。2設(shè)備的開箱檢查、驗收是設(shè)備交接、安裝的重要環(huán)節(jié)，應(yīng)根據(jù)具體工程情況確定由建設(shè)方和有關(guān)方共同進行，并認真做好開箱、驗收記錄。3設(shè)備的搬運、吊裝、就位是設(shè)備安裝中十分重要的環(huán)節(jié),特別是大型、特殊結(jié)構(gòu)的凈化空調(diào)設(shè)備，規(guī)范規(guī)定中強調(diào)：①應(yīng)符合產(chǎn)品說明書要求，做好相關(guān)保護工作，防止設(shè)備損壞，這是確保設(shè)備安全搬運、吊裝、就位和在此過程人身安全的基本要求；②應(yīng)符合相關(guān)標準規(guī)范中的有關(guān)規(guī)定，也是確保凈化空調(diào)設(shè)備安裝質(zhì)量的重要依據(jù)，應(yīng)該認真執(zhí)行。二、規(guī)范規(guī)定了高效空氣過濾器安裝前應(yīng)具備的條件和安裝驗收的主控項目的內(nèi)容。潔凈廠房的高效空氣過濾器的安裝(包括安裝前、后的準備和檢漏)質(zhì)量對空氣潔凈度的實現(xiàn)均至關(guān)重要，必須認真、實實在在地按規(guī)定實施。三、風機過濾器機組(FFU)的安裝和安裝前后的要求與高效空氣過濾器是相似的，但由于安裝FFU的吊頂上方的送風靜壓箱相對于潔凈室(區(qū))是“負壓”，所以FFU與吊頂板的密封方式一般均為機械密封。FFU的檢漏要求與高效空氣過濾器是相同的。四、潔凈層流罩一般用于空氣潔凈度等級為6級~7級的潔凈室(區(qū))內(nèi)局部要求提供5級的獨立空氣凈化設(shè)備，它是確保產(chǎn)品生產(chǎn)所需較高的空氣潔凈度等級要求的重要手段，本條提出的潔凈層流罩安裝的主控項目內(nèi)容，應(yīng)認真執(zhí)...
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潔凈工程有它的特殊性，電子產(chǎn)品潔凈廠房的特點非常明顯，第一個造價特點貴，隨著半導(dǎo)體工程的發(fā)展，這樣對于工廠的品質(zhì)要求越來越高，玻璃基板的尺寸越來越大，從原來的一代線到現(xiàn)在的主流八代線，隨著基本尺寸大造價越來越高。第二個特點是工期短，由于半導(dǎo)體工廠的特點投資特點大，所有的建設(shè)方盡快短期進行生產(chǎn)，取得投資回報，作為施工單位來講擺在面前的一個特點就是工期要求非常緊。第三個特點是品質(zhì)要求非常高，由于電子工廠它對廠房的依賴程度非常高，建廠當中的事故直接導(dǎo)致產(chǎn)品良品率的高低。第四個就是高復(fù)雜度，對于建廠來講，專業(yè)技術(shù)問題是一個非常全面的，涵蓋了多專業(yè)、多行業(yè)的問題，同時還有管理的問題。第五個特點是高整合度，對于建廠來講有這樣五個特點。對于關(guān)鍵難點第一個是高空作業(yè)，這是非常明顯的工作特點，安全、整個施工的難度都相應(yīng)非常大，采取分層作業(yè)的施工方式，先把地板層做起來，這樣以地板層為界面分為上下兩個層面進行施工。第二個難題就是大面積精度控制，現(xiàn)在隨著產(chǎn)業(yè)的發(fā)展，往大，往精細化發(fā)展，這對于精度是一個很大的挑戰(zhàn)，如何進行精度的保證這對于實施這樣的項目來講也是高難度的方面，的做法是配置專業(yè)的測量人員。在大面積的情況下把精度控制在實施的要求范圍之內(nèi)。第三個難點就是全過程潔凈施工控制，潔凈廠房相對其他廠房一個最大的特點就是潔凈的管控，潔凈的管控從建廠一開始到最后是全過程的控制，只有透過全過程的控制才能保證建出來...
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1.電子潔凈廠房的電氣設(shè)計電子沽凈廠房電氣設(shè)計一般包括電力系統(tǒng)、照明系統(tǒng)、自動控制系統(tǒng)及防雷接地系統(tǒng)，各系統(tǒng)與其它專業(yè)相互配合，是電子潔凈廠房安全生產(chǎn)不可缺少的因素。2.電子潔凈廠房電力系統(tǒng)2.1確定負荷分級根據(jù)室外消防水量確定消防設(shè)備的負荷等級，根據(jù)電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝及設(shè)備要求確定工藝設(shè)備的負荷等級，選用合理的供電方式。電子產(chǎn)品生產(chǎn)用主要工藝設(shè)備，應(yīng)由專用變壓器或?qū)Ｓ玫蛪吼侂娋€路供電。對電源連續(xù)性有特殊要求的生產(chǎn)設(shè)備、動力設(shè)備，設(shè)置不間斷電源或備用發(fā)電裝置。2.2特殊電壓設(shè)備電子潔凈廠房中有些工藝設(shè)備是特殊電壓，根據(jù)特殊電壓設(shè)備分布及種類，確定采用集中式特種變壓器或分布式特種變壓器。2.3配電系統(tǒng)電子潔凈廠房工藝設(shè)備、動力設(shè)備、照明設(shè)備配電系統(tǒng)分開，一般采用放射式、樹干式結(jié)合的配電方式分別進入設(shè)備或電力、照明配電箱。在設(shè)計時與業(yè)主充分溝通，選擇低壓電纜直接配電或采用母線槽的配電方式。2.4設(shè)備選擇沽凈室的配電設(shè)備，應(yīng)選擇不易積塵、便于擦拭的小型、暗裝設(shè)備。配電箱可暗裝在回風夾道或灰區(qū)內(nèi)。利用箱內(nèi)的低壓斷路器或漏電斷路器作過載、短路及漏電保護，并采用手動斷合操作。工藝配電箱配電按照工藝流程合理劃分。在腐蝕性區(qū)域內(nèi)各類電氣設(shè)備及附件如支架、螺母等都應(yīng)選用防腐蝕材料。防爆房間內(nèi)電氣設(shè)備防爆等級符合規(guī)范要求，在爆炸危險環(huán)境內(nèi)，電氣設(shè)備的金屬外殼應(yīng)可靠接地。2.5導(dǎo)線選擇和線路敷設(shè)潔凈室為密...
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1前言潔凈室的相關(guān)設(shè)計必須是依照所需要的潔凈室標準來進行設(shè)計，要明確應(yīng)用怎樣的回風方法以及多少換氣次數(shù)，對送風風速，回風口等的布局設(shè)計，其他配置的分布等等都要給出一定的要求。之前的設(shè)計，大部分是參考了以往案例以及工程師的自身經(jīng)歷，往往會造成最終構(gòu)建完成的潔凈室難以達到所要求的水準。伴隨相關(guān)工藝技術(shù)的迅速發(fā)展，人們對潔凈室的需求正在日漸提升，不但是處于靜態(tài)狀況下要符合設(shè)計要求，在動態(tài)狀況下也須達到設(shè)計需要。這就給相關(guān)的設(shè)計提出了更加高標準的要求，只是參照以往案例以及工程師的自身經(jīng)驗是難以達到的，這就要求設(shè)計人員去努力獲取更為有效的輔助工具，而CFD技術(shù)或許能夠提供一定的幫助。CFD是指的計算流體動力學。首先是對研究項目構(gòu)建數(shù)值模型，以獲得所研究項目的連續(xù)性、能量、動量方程等，并對以上模型采取離散化的數(shù)學處理，應(yīng)用計算機進行相關(guān)的求解。從而獲得流體的速度場、溫度場等的分布。之前的研究者使用CFD技術(shù)，一般多是用來對相關(guān)潔凈室進行模擬與分析，看重的是其理論.研究效果，而且主要面向的是某些特殊的靜態(tài)模型，然而在實際應(yīng)用中，還沒有獲得很好的方法。2問題的提出首先要構(gòu)建一個300 m2的實驗室，進行某電子產(chǎn)品的研究。依據(jù)施工工藝規(guī)范，包括IS04級大約12m2，IS05 級大.約50m2，后者還要有兩試驗臺進行間歇排風。此外，所構(gòu)建的實驗室的房屋高度僅是3.5m，梁底高僅是2.95m，這么低的...
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1潔凈室流型及氣流組織通常，潔凈室可分為亂流潔凈室與單向流潔凈室。就潔凈室的氣流狀態(tài)而言，其流動一般均處于紊流狀態(tài)。亂流潔凈室與單向流潔凈室并不是以層、紊流狀態(tài)即Re數(shù)大小來劃分的，而是以流場是否均勻來劃分的。當潔凈室氣流處于均勻或漸變流狀態(tài)時，潔凈室可稱為單向流潔凈室；當潔凈室氣流處于急變或突變流狀態(tài)時，潔凈室可稱為亂流潔凈室。2潔凈室流型及氣流組織的CFD模擬2.1用CFD方法進行潔凈模擬與預(yù)報的一般步驟現(xiàn)代設(shè)計過程：現(xiàn)代設(shè)計過程中，“試驗樣本”這一環(huán)節(jié)中的大量工作已通過CFD工作完成，即通過CFD工作形成大量的“虛擬試驗樣本”，只需要少或無需實際的“試驗樣本”即可檢驗CFD方法的可靠性、正確性，故現(xiàn)代設(shè)計過程之工作量大為減少。方案的篩選是以科學性的分析為基礎(chǔ)，因而比較容易保證設(shè)計成功和產(chǎn)品質(zhì)量的穩(wěn)定，而且它將傳統(tǒng)設(shè)計的大循環(huán)過程轉(zhuǎn)變?yōu)榉桨冈O(shè)計帶有預(yù)測性質(zhì)的校驗循環(huán)(驗證循環(huán))，當設(shè)計已經(jīng)基本達到設(shè)計要求時再轉(zhuǎn)入通常的詳細設(shè)計，大大減少了設(shè)計過程的中間環(huán)節(jié)。因此，CFD技術(shù)的大量應(yīng)用能顯著縮短設(shè)計周期，降低費用。2.2潔凈室氣流組織模擬與預(yù)報的CFD過程潔凈環(huán)境模擬與預(yù)報的一般CFD過程中，試驗或經(jīng)驗判定環(huán)節(jié)在使用CFD方法后僅需少量的試驗工作，大量的試驗工作可通過計算機“虛擬”實現(xiàn)。3 CFD軟件的一般結(jié)構(gòu)與潔凈室氣流控制方法CFD軟件的一般結(jié)構(gòu)可表示如下：前處理-求解-后處...
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懸浮粒子指標是判定醫(yī)藥工業(yè)潔凈室(區(qū))潔凈度級別的核心指標。該指標的監(jiān)測、驗證有靜態(tài)、動態(tài)之分。因動態(tài)檢測結(jié)果涉及工藝生產(chǎn)和人員活動，因素復(fù)雜，不利于作為判定標準，所以國外曾規(guī)定動態(tài)檢測范圍不包括操作點或發(fā)塵點60cm內(nèi)的區(qū)域，甚至日本有關(guān)標準宣布原則上用靜態(tài)檢測結(jié)果。我國根據(jù)工作實踐中的情況，結(jié)合工藝點產(chǎn)塵、工藝流程的特點，將生產(chǎn)動作產(chǎn)塵性質(zhì)分類，對醫(yī)藥工業(yè)潔凈室(區(qū))懸浮粒子動態(tài)測試進行探討。一、生產(chǎn)動作產(chǎn)塵性質(zhì)分類根據(jù)生產(chǎn)動作在流程中的性質(zhì)，將生產(chǎn)動作分為規(guī)律性動作、偶然性動作。規(guī)律性動作即按正常的生產(chǎn)程序進行的動作；偶然性動作即由于意外因素引起，將規(guī)律性動作分為持續(xù)性動作、間歇性動作、一次性動作。1.持續(xù)性動作。生產(chǎn)動作連續(xù)進行，對塵粒濃度的影響從初始值開始抬升，到達峰值后穩(wěn)定在該值并維持到生產(chǎn)動作結(jié)束。2.間歇性動作。 按一定的時間間隔重復(fù)進行，對塵粒濃度的影響從初始值開始抬升，到達峰值后回落，但不能回到上次動作的初始值；然后，隨著動作的重復(fù)進行開始抬升；由于間歇性動作間隔重復(fù)次數(shù)有限，通常最后一個動作產(chǎn)生的峰值即為間歇性動作最大值。3.一次性動作。單次動作或多次重復(fù)動作(在兩次動作間系統(tǒng)環(huán)境指標均能回落到初始值)。4.偶然性動作。在工藝流程、操作規(guī)程外可能引起系統(tǒng)、局部環(huán)境指標改變的動作。動作的產(chǎn)塵性質(zhì)具有間歇性動作、一次性動作的特點。二、醫(yī)藥工業(yè)潔凈室(區(qū))懸浮粒子動...
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一、藥廠潔凈室污染控制原則潔凈室污染源主要包括外污染源與內(nèi)污染源兩種，其中，外污染源包括間隙滲入、空調(diào)送風、工作服、建筑物、溶劑、風管材料以及供水等；內(nèi)污染源包括工作人員、制造設(shè)備、消毒、加工制造、工具以及包裝材料等。一般可從4個方面來進行控制，即防止外部塵埃侵入、防止室內(nèi)發(fā)塵、室內(nèi)發(fā)塵不積留以及空間塵粒及時去除。在正常情況下，應(yīng)將潔凈室保持在正壓狀態(tài)(5Pa)，定期檢查確保工程不存在漏氣情況，人員設(shè)備以及原材料進入前需要進行全面清潔擦拭等防塵工作，還需要設(shè)置空氣過濾器。對于室內(nèi)污染源的控制，應(yīng)在建設(shè)時適當選擇無塵室墻體、地板等材料，并按照規(guī)范嚴格控制制造設(shè)備的發(fā)塵，做好人員行為以及服裝管理。此外，還需要定期對潔凈室進行清掃消毒處理，確保墻壁體光滑無死角，設(shè)備安裝需要預(yù)留出一定空間，并保證足夠的換氣次數(shù)，做好空調(diào)氣流速度控制。二、潔凈室檢測基本原理潔凈室在其空間環(huán)境中空氣懸浮粒子濃度可以進行檢測和控制。室內(nèi)的空氣溫度和濕度，相關(guān)的大氣壓力等這些相關(guān)的參數(shù)同時要求進行嚴格的控制。一個簡易的潔凈室，包括外界大氣的輸送，溫度的調(diào)節(jié)，過濾器的過濾，最后都在一個密閉的室內(nèi)。在一般情況下，要求空間內(nèi)的空氣可以進行循環(huán)。三、潔凈室檢測某制藥廠潔凈空調(diào)系統(tǒng)由AHU-1，AHU-2，AHU-3三個系統(tǒng)組成。AHU-1系統(tǒng)服務(wù)于更衣、清洗消毒、精配、罐裝、發(fā)衣等房間的凈化空調(diào)系統(tǒng)。AHU-2系統(tǒng)服務(wù)于...
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一、人員與物料進入潔凈室會把外部污染物帶入室內(nèi)，特別是人員本身就是一個重要的污染源，不同衣著、不同動作時人體產(chǎn)塵量不同，根據(jù)調(diào)查可知身著普通服裝的人走動時的產(chǎn)塵量可達約(≥0.5μm)近300×104pc/min·P。國外有關(guān)資料報導(dǎo)，潔凈室中的灰塵來源于人員因素的占35%。對潔凈室空氣抽樣分析也發(fā)現(xiàn)，主要的污染物有人的皮膚微屑、衣服織物的纖維與室外大氣中同樣性質(zhì)的微粒。由此可見，要獲得生產(chǎn)環(huán)境所需要的空氣潔凈度，人員與物料的凈化是十分必要的。二、雨具存放、換鞋、管理、存外衣、更潔凈工作服是人員凈化用室的基本組成部分，也是人員凈化必須的。生活用室及其它用室應(yīng)視車間所在地區(qū)的自然條件、車間規(guī)模及工藝特征等具體情況，根據(jù)實際需要設(shè)置。例如：車間規(guī)模較大、人員集中或工藝為暗室操作的潔凈室應(yīng)設(shè)必要的休息室。三、1凈鞋的目的在于保護人員凈化用室入口處不致受到嚴重污染。國內(nèi)多數(shù)潔凈廠房人員入口前設(shè)有擦鞋、水洗凈鞋、粘鞋墊、換鞋、套鞋等凈鞋措施。為了保護人員凈化用室的清潔，最徹底的辦法是在更衣前將外出鞋脫去，換上清潔鞋或鞋套?，F(xiàn)有潔凈廠房工作人員都執(zhí)行更衣前換鞋的制度，其中不少潔凈廠房對換鞋方式作了周密考慮，換鞋設(shè)施的布置考慮了外出鞋與清潔鞋接觸的地面有明確的區(qū)分，避免了清潔鞋被外出鞋污染，例如跨越鞋柜式換鞋，清潔平臺上換鞋等都有很好的效果。2外出服在家庭生活及戶外活動中積有...
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潔凈廠房雖不同于一般工業(yè)廠房，但在材料與構(gòu)造的耐火性能以及火災(zāi)的火勢形成、發(fā)展與擴散等基本特性方面，兩者都基本一致。所以《建筑設(shè)計防火規(guī)范》(以下簡稱防火規(guī)范)中不少條文同樣適用于潔凈廠房。本文主要結(jié)合潔凈廠房的下列特點，對于防火規(guī)范尚未包括或者不全適合的部分作必要的補充：1空間密閉，火災(zāi)發(fā)生后，煙量特大，對于疏散和撲救極為不利。同時由于熱量無處泄漏，火源的熱輻射經(jīng)四壁反射室內(nèi)迅速升溫，大大縮短全室各部位材料達到燃點的時間。當廠房外墻無窗時，室內(nèi)發(fā)生的火災(zāi)往往一時不容易被外界發(fā)現(xiàn)，發(fā)現(xiàn)后也不容易選定撲救突破口。2平面布置曲折，增加了疏散路線上的障礙，延長了安全疏散的距離和時間。3若干潔凈室都通過風管彼此串通，當火災(zāi)發(fā)生，特別是火勢初起未被發(fā)現(xiàn)而又繼續(xù)送風的情況下，風管成為煙、火迅速外竄，殃及其余房間的重要通道。4室內(nèi)裝修使用了一些高分子合成材料，這些材料在燃燒時產(chǎn)生濃煙，散發(fā)毒氣，有的燃燒速度極快。5某些生產(chǎn)過程使用易燃易爆物質(zhì)，火災(zāi)危險性高。例如：甲醇、甲苯、丙酮、丁酮、乙酸乙脂、乙醇、甲烷、二氯甲烷、硅烷、異丙醇、氫等，都是甲、乙類易燃易爆物質(zhì)，對潔凈廠房構(gòu)成潛在的火災(zāi)威脅。此外，潔凈廠房內(nèi)往往有不少極為精密、貴重的設(shè)備，建設(shè)投資十分昂貴，一旦失火，損失極大。鑒于以上幾方面的特點，為了保障生命、財產(chǎn)的安全，盡量減少火災(zāi)中的損失，本文分別從防止起火與燃燒，便利疏散與搶救這兩個方面...
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